フォトリソグラフィー用薬剤
フォトリソグラフィー用薬剤製品一覧
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レジスト剥離剤
セミクリーンEP-10
準水系有機アルカリタイプ、メタルフリー。金属不純物による汚染懸念が少ない。
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レジスト現像液
セミクリーンDL-A10
無機アルカリタイプ。即効性が高く、シャープな現像が可能。
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レジスト現像液
セミクリーンDL-A9C
無機アルカリタイプ。ドライフィルムレジスト現像に適用可能。
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レジスト現像液
セミクリーンDL-P1
無機アルカリタイプ。金属腐蝕抑制がありアルミ配線に適用可能。